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ZJT-601襯底檢測(cè)設(shè)備
詳細(xì)描述
ZJT-601 用于 IC 及 LED 襯底片的質(zhì)量檢測(cè)。用來精密檢測(cè)襯底片的平整度、翹曲度以及厚度等指標(biāo)，并按照用戶設(shè)定的數(shù)值進(jìn)行自動(dòng)分選的設(shè)備。 該設(shè)備具有襯底片自動(dòng)傳輸系統(tǒng)、定位，高精度掃描運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，精度檢測(cè)系統(tǒng)，數(shù)據(jù)處理以及故障顯示報(bào)警等先進(jìn)功能。 該設(shè)備采用不接觸的逐片掃描檢測(cè)，并能按照檢測(cè)結(jié)果將襯底片自動(dòng)傳輸?shù)蕉x的片盒內(nèi)，為用戶進(jìn)行精細(xì)化生產(chǎn)提供依據(jù)，從而提高用戶產(chǎn)品的良率、效率和產(chǎn)品一致性，為用戶創(chuàng)造價(jià)值。
技術(shù)指標(biāo)
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片子尺寸 |
2inch--6inch |
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特點(diǎn) |
用戶化設(shè)定， 全自動(dòng)，高精度，高效率。 |
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片盒裝/卸模式 |
手動(dòng) |
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測(cè)量項(xiàng)目 |
LTV <0.15um(重復(fù)性) |
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TTV <0.15um(重復(fù)性) |
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Thickness <0.1um(重復(fù)性) |
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BOW <0.1um(重復(fù)性) |
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warp <0.5um(重復(fù)性) |
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C- Thickness <0.15um(重復(fù)性) |
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TIR <0.15um(重復(fù)性) |
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工作效率 |
>220 片/小時(shí)（2 英寸基片，2.5mm 陣列） |
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>220 片/小時(shí)（4 英寸基片，5mm 陣列） |
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>180 片/小時(shí)（6 英寸基片，10mm 陣列） |
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檢測(cè)精度 |
<0.1um |
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檢測(cè)方式 |
連續(xù)掃描 |
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片盒數(shù)量 |
5 盒，1 盒供片，4 盒分選(或根據(jù)用戶要求設(shè)置) |
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安全模式 |
殘留片處理(檢測(cè)艙內(nèi).機(jī)械臂上.定心臺(tái)上) 片盒未裝提示 |
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真空錯(cuò)誤 |
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運(yùn)行過程位置、時(shí)序錯(cuò)誤 |
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手動(dòng)緊急停止、暫停 |
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鎖屏功能 報(bào)警 |
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記錄查詢 |
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操作方式： |
操作員、工程師、管理員 |
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最小步距 |
<0.05mm |
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檢測(cè)傳感器 |
德國(guó) PRECITEC 公司光學(xué)傳感器檢測(cè)（長(zhǎng)壽命 LED 光源） |
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邊緣要求 |
非接觸 |
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校準(zhǔn) |
自動(dòng)校準(zhǔn) |
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數(shù)據(jù)查詢 |
按批次、按日期查詢每個(gè)襯底片對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)圖 |
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每個(gè)襯底片的數(shù)據(jù)導(dǎo)出 excel 格式 |
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