咨詢
熱線
:021-50381269,0573-84983063
當(dāng)前位置：首頁 > 產(chǎn)品中心 > 尼康步進光刻機
NSR1505g4D光刻機
詳細(xì)描述
NSR1505g4D主要用于CD線寬不超過0.75μm器件的生產(chǎn)。
主要技術(shù)指標(biāo)
|
分辨率 |
0.75μm |
Resolution |
0.75 |
|
N.A. |
0.45 |
N.A. |
0.45 |
|
曝光光源 |
436nm |
Exposure light source |
436nm |
|
倍率 |
1:5 |
Magnification |
1:5 |
|
最大曝光市場 |
15mmX15mm |
Maximum Exposure area |
15mmX15mm |
|
對準(zhǔn)精度 |
180nm |
Alignment accuracy |
180nm |
提供3”、4”、5”、6”、設(shè)備改造。
常年提供所有備件、耗材。
更多型號設(shè)備歡迎致電或瀏覽我們的網(wǎng)站。
相關(guān)產(chǎn)品
