咨詢
熱線
:021-50381269,0573-84983063
當(dāng)前位置：首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > 尼康步進(jìn)光刻機(jī)
NSR2005i12D光刻機(jī)
詳細(xì)描述
NSR2005i12D主要用于CD線寬不超過0.35μm器件的生產(chǎn)。
主要技術(shù)指標(biāo)
|
分辨率 |
0.35μm |
Resolution |
0.35μm |
|
N.A. |
0.63 |
N.A. |
0.63 |
|
曝光光源 |
365nm |
Exposure light source |
365nm |
|
倍率 |
1:5 |
Magnification |
1:5 |
|
最大曝光市場(chǎng) |
22mmX22mm |
Maximum Exposure area |
22mmX22mm |
|
對(duì)準(zhǔn)精度 |
55nm |
Alignment accuracy |
55nm |
提供4”、5”、6”、8”、設(shè)備改造。
常年提供所有備件、耗材。
更多型號(hào)設(shè)備歡迎致電或?yàn)g覽我們的網(wǎng)站。
相關(guān)產(chǎn)品
