在 PSS 制作過程中，目前韓國、臺(tái)灣地區(qū)以及國內(nèi)均采用 stepper、track、ICP 設(shè)備為主要加工裝備，制作過程基本雷同，工藝已經(jīng)成熟。

      制作過程中，為保證 1um 左右的圖形化襯底，必須使用 Stepper光刻機(jī)，而stepper 對于襯底、膠厚都有一定要求（設(shè)計(jì)為膠厚 1um，襯底平整度符合硅片標(biāo)準(zhǔn)—2英寸襯底片的TTV小于3um)。而在 PSS 襯底制作過程，一般光刻膠厚在 2.3um以上，在膠厚確定的情況下（用戶的刻蝕工藝和需求決定）襯底平的平整度對 PSS 黃光良品率下降起到?jīng)Q定性作用----對于stepper和align光刻機(jī)）；國內(nèi)PSS基本的制作思路是保證良率優(yōu)先，采用縮小曝光面積的方法來提高 良率（在小面積內(nèi)容易實(shí)現(xiàn)一致性），大多采用是 5mmx5mm的曝光面積，大大降低了光刻機(jī)的效率。我們已經(jīng)驗(yàn)證在曝光面積達(dá)到8mmx8mm的情況下， NSR1505系列光刻機(jī)的月產(chǎn)量將在26000片以上，NSR2005系列則更高。

      但是目前市場是提供的可用于 PSS 制作的 2 英寸襯底片是按一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)（ 5um即為合格品），以批次抽檢作為出廠檢驗(yàn)方法，這是由于 PSS 工藝出現(xiàn)之前襯底不需要很高的精度要求。而PSS量產(chǎn)需要的襯底片TTV一般優(yōu)于 4um。因此需要對襯底片進(jìn)行精細(xì)測量和分檢。

      ZJT-401 就是根據(jù)這個(gè)問題來開發(fā)的，檢測分選機(jī)是可以對襯底片進(jìn)行“逐片”掃描并分類的裝置，根據(jù)檢測結(jié)果將襯底自動(dòng)歸類到不同規(guī)格定義的片架，用戶可以根據(jù)不同規(guī)格選擇不同的stepper機(jī)臺(tái)，有效提高良品率和效率，該發(fā)明已申請國家專利。

      下面介紹 zjt-401 檢測分選機(jī)的應(yīng)用。

     根據(jù)韓國、國內(nèi)及臺(tái)灣地區(qū) PSS 制作的經(jīng)驗(yàn)，在膠厚不變的情況下

     2.3um-2.5um）襯底平整度對于產(chǎn)能和良率的關(guān)系如下表：
     襯底平整度適應(yīng)的曝光面積良率 Stepper 利用率
     規(guī)格 1 ﹤1um 9mmx9mm >90% 100%
     規(guī)格 2 ﹤3um 7mmx7mm >90% 90%
     規(guī)格 3 ﹤4um 5mmx5mm >90% 70%
     規(guī)格 4 ﹤5um 3.5mmx3.5mm 80% 40%

     在襯底“逐片”檢測、分類后，可以將不同規(guī)格的襯底片用不同設(shè)置（掩膜版窗口不一樣)stepper機(jī)臺(tái)去曝光，這樣既能確保 stepper 曝光后的良率，更能夠發(fā)揮出stepper 的效率。

     通過 ZJT 401 設(shè)備的分選，進(jìn)行精細(xì)化生產(chǎn)管理，對于不同的stepper光刻機(jī)而言，采用大面積和小面積曝光，其效率增加在50%以上，因此是PSS襯底的制作可以提 供強(qiáng)有力的保障，有效降低成本（包括采購成本)，提高效率，也可以省去高價(jià)采購高規(guī)格襯底的費(fèi)用，解決當(dāng)前PSS 制作中的瓶頸問題。

二、MOCVD制程

      設(shè)備除進(jìn)行LTV\TTV的測量功能外，還可以進(jìn)行厚度和翹曲度的測量分選，襯底片的厚度誤差比較大（厚度的10%），加上翹曲度的因素，在MOCVD生 產(chǎn)過程中上表面溫度不一致，溫度差異會(huì)導(dǎo)致同一爐的效果也有差異性。 該設(shè)備可以將厚度和翹曲度綜合起來，使誤差相近的襯底片在同一臺(tái)（一批）MOCVD 中進(jìn)行外延加工，其上表面溫度更加一致，外延的一致性更為提高。

三、ZJT -401A 檢測分選機(jī)工作原理

      該設(shè)備是采用激光干涉測量技術(shù)，通過工作臺(tái)陣列掃描運(yùn)動(dòng)，實(shí)時(shí)監(jiān)測襯底上表面的微觀高度變化，計(jì)算出該襯底片的TTV和LTV；然后根據(jù)用戶定義，由傳 輸系統(tǒng)自動(dòng)分類放置在指定的片盒中；在掃描過程中另一個(gè)襯底片在進(jìn)行準(zhǔn)備的動(dòng)作，從工作臺(tái)上下片的同時(shí)傳遞到工作臺(tái)上。

     設(shè)備核心算法采用 “MAP”、虛擬斜率、均值差等概念進(jìn)行運(yùn)算并數(shù)據(jù)處理，排除了系統(tǒng)誤差，使測量更為精確。

     設(shè)備全自動(dòng)化的掃描分選，用戶可以根據(jù)自身的工藝特點(diǎn)，對掃描襯底的直徑（2inch-4inch）、檢測分選項(xiàng)目、精度指標(biāo)、陣列模式、片盒指定等自行設(shè)定，設(shè)備即根據(jù)指令進(jìn)行無接觸的高精度、快速進(jìn)行檢測分選。

四、優(yōu)點(diǎn)總結(jié)

     對于產(chǎn)品的高品質(zhì)的追求和成本的持續(xù)降低是每個(gè)企業(yè)不斷追求的目標(biāo)，LED行業(yè)現(xiàn)在進(jìn)入精細(xì)化生產(chǎn)、管理階段，需要更嚴(yán)格更細(xì)致的手段來實(shí)現(xiàn)之、保證之。

     本設(shè)備的開發(fā)是根據(jù)LED制作過程特別是PSS面臨的問題而開發(fā)的，屬于新的理念，但工藝針對性強(qiáng).

     對PSS生產(chǎn)過程中的良率和效率有很大的幫助,現(xiàn)在普遍降低效率而提高良率的方法實(shí)際上揮霍了光刻機(jī)的效率，本設(shè)備是能兼顧的最佳解決方案。

     對于MOCVD的一致性也有很大提高，本設(shè)備可以精細(xì)化的解決由于上表面高度不一致而在底部加熱會(huì)形成的效果不一致的問題。