在 PSS 制作過程中，目前韓國、臺灣地區(qū)以及國內(nèi)均采用 stepper、track、ICP 設(shè)備為主要加工裝備，制作過程基本雷同，工藝已經(jīng)成熟。

      制作過程中，為保證 1um 左右的圖形化襯底，必須使用 Stepper光刻機，而stepper 對于襯底、膠厚都有一定要求（設(shè)計為膠厚 1um，襯底平整度符合硅片標(biāo)準(zhǔn)—2英寸襯底片的TTV小于3um)。而在 PSS 襯底制作過程，一般光刻膠厚在 2.3um以上，在膠厚確定的情況下（用戶的刻蝕工藝和需求決定）襯底平的平整度對 PSS 黃光良品率下降起到?jīng)Q定性作用----對于stepper和align光刻機）；國內(nèi)PSS基本的制作思路是保證良率優(yōu)先，采用縮小曝光面積的方法來提高 良率（在小面積內(nèi)容易實現(xiàn)一致性），大多采用是 5mmx5mm的曝光面積，大大降低了光刻機的效率。我們已經(jīng)驗證在曝光面積達(dá)到8mmx8mm的情況下， NSR1505系列光刻機的月產(chǎn)量將在26000片以上，NSR2005系列則更高。

      但是目前市場是提供的可用于 PSS 制作的 2 英寸襯底片是按一個標(biāo)準(zhǔn)（ 5um即為合格品），以批次抽檢作為出廠檢驗方法，這是由于 PSS 工藝出現(xiàn)之前襯底不需要很高的精度要求。而PSS量產(chǎn)需要的襯底片TTV一般優(yōu)于 4um。因此需要對襯底片進(jìn)行精細(xì)測量和分檢。

      ZJT-401 就是根據(jù)這個問題來開發(fā)的，檢測分選機是可以對襯底片進(jìn)行“逐片”掃描并分類的裝置，根據(jù)檢測結(jié)果將襯底自動歸類到不同規(guī)格定義的片架，用戶可以根據(jù)不同規(guī)格選擇不同的stepper機臺，有效提高良品率和效率，該發(fā)明已申請國家專利。

      下面介紹 zjt-401 檢測分選機的應(yīng)用。

     根據(jù)韓國、國內(nèi)及臺灣地區(qū) PSS 制作的經(jīng)驗，在膠厚不變的情況下

     2.3um-2.5um）襯底平整度對于產(chǎn)能和良率的關(guān)系如下表：
     襯底平整度適應(yīng)的曝光面積良率 Stepper 利用率
     規(guī)格 1 ﹤1um 9mmx9mm >90% 100%
     規(guī)格 2 ﹤3um 7mmx7mm >90% 90%
     規(guī)格 3 ﹤4um 5mmx5mm >90% 70%
     規(guī)格 4 ﹤5um 3.5mmx3.5mm 80% 40%

     在襯底“逐片”檢測、分類后，可以將不同規(guī)格的襯底片用不同設(shè)置（掩膜版窗口不一樣)stepper機臺去曝光，這樣既能確保 stepper 曝光后的良率，更能夠發(fā)揮出stepper 的效率。

     通過 ZJT 401 設(shè)備的分選，進(jìn)行精細(xì)化生產(chǎn)管理，對于不同的stepper光刻機而言，采用大面積和小面積曝光，其效率增加在50%以上，因此是PSS襯底的制作可以提 供強有力的保障，有效降低成本（包括采購成本)，提高效率，也可以省去高價采購高規(guī)格襯底的費用，解決當(dāng)前PSS 制作中的瓶頸問題。

二、MOCVD制程

      設(shè)備除進(jìn)行LTV\TTV的測量功能外，還可以進(jìn)行厚度和翹曲度的測量分選，襯底片的厚度誤差比較大（厚度的10%），加上翹曲度的因素，在MOCVD生 產(chǎn)過程中上表面溫度不一致，溫度差異會導(dǎo)致同一爐的效果也有差異性。 該設(shè)備可以將厚度和翹曲度綜合起來，使誤差相近的襯底片在同一臺（一批）MOCVD 中進(jìn)行外延加工，其上表面溫度更加一致，外延的一致性更為提高。

三、ZJT -401A 檢測分選機工作原理

      該設(shè)備是采用激光干涉測量技術(shù)，通過工作臺陣列掃描運動，實時監(jiān)測襯底上表面的微觀高度變化，計算出該襯底片的TTV和LTV；然后根據(jù)用戶定義，由傳 輸系統(tǒng)自動分類放置在指定的片盒中；在掃描過程中另一個襯底片在進(jìn)行準(zhǔn)備的動作，從工作臺上下片的同時傳遞到工作臺上。

     設(shè)備核心算法采用 “MAP”、虛擬斜率、均值差等概念進(jìn)行運算并數(shù)據(jù)處理，排除了系統(tǒng)誤差，使測量更為精確。

     設(shè)備全自動化的掃描分選，用戶可以根據(jù)自身的工藝特點，對掃描襯底的直徑（2inch-4inch）、檢測分選項目、精度指標(biāo)、陣列模式、片盒指定等自行設(shè)定，設(shè)備即根據(jù)指令進(jìn)行無接觸的高精度、快速進(jìn)行檢測分選。

四、優(yōu)點總結(jié)

     對于產(chǎn)品的高品質(zhì)的追求和成本的持續(xù)降低是每個企業(yè)不斷追求的目標(biāo)，LED行業(yè)現(xiàn)在進(jìn)入精細(xì)化生產(chǎn)、管理階段，需要更嚴(yán)格更細(xì)致的手段來實現(xiàn)之、保證之。

     本設(shè)備的開發(fā)是根據(jù)LED制作過程特別是PSS面臨的問題而開發(fā)的，屬于新的理念，但工藝針對性強.

     對PSS生產(chǎn)過程中的良率和效率有很大的幫助,現(xiàn)在普遍降低效率而提高良率的方法實際上揮霍了光刻機的效率，本設(shè)備是能兼顧的最佳解決方案。

     對于MOCVD的一致性也有很大提高，本設(shè)備可以精細(xì)化的解決由于上表面高度不一致而在底部加熱會形成的效果不一致的問題。